隨著人們生活質(zhì)量的提高，他們對生產(chǎn)質(zhì)量的要求越來越嚴格。電子工廠和其他行業(yè)在計劃建造潔凈室時主要控制靜電：高濕度實際上減少了潔凈室和潔凈室表面上的靜電積累。較低的濕度更適合電荷的積累，并成為靜電放電的潛在破壞源。

　　當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們會在絕緣體或不接地的表面上長期存在。

　　相對濕度可以在35%和40%之間進行折衷。半導體潔凈室和潔凈室通常使用其他控制設備來限制靜電荷的積累。隨著相對濕度的增加，許多化學反應(包括腐蝕過程)的速度將增加。潔凈室和潔凈室周圍暴露在空氣中的所有表面都很快被至少一層單層水覆蓋。當這些表面由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度會加速反應。幸運的是，某些金屬(例如鋁)可以與水形成保護性氧化物，并防止進一步的氧化反應。但是在另一種情況下，例如氧化銅，則沒有保護能力。因此，在高濕度環(huán)境中，銅表面更容易受到腐蝕。

　　總結電子工業(yè)無塵車間的溫度和濕度控制主要在于其生產(chǎn)過程的要求：(下面將舉一個例子)

　　范例1：

　　在精密加工和測量中，為了防止熱膨脹引起的誤差，必須將工件保持在一定溫度下。工件溫度的允許波動范圍應根據(jù)加工精度確定。例如，要在恒溫室內(nèi)雕刻長度為500mm的標準直尺，線之間的允許公差為2um，其中l(wèi)um是因直尺溫度變化而引起的變形誤差，另外1um是機加工和測量誤差。 1um轉(zhuǎn)換為標尺溫度變化= 0.20C [a是標尺的線性膨脹系數(shù)，取10 / um /(m?K); l是直尺長度，m]，因此工件的溫度變化必須在范圍之內(nèi)。

　　但是，由于工件測量儀器等的熱慣性，空氣溫度的波動在傳遞到工件后會減弱。在設計恒溫系統(tǒng)時，它通常基于恒定的環(huán)境空氣溫度，因此相應的環(huán)境溫度精度可能會低于工件的允許溫度精度。因此，在確定恒溫室參數(shù)并選擇自動控制時，必須考慮恒溫恒濕車間，外殼結構，空氣處理設備和自動控制系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

　　范例2：

　　電子行業(yè)的制造車間是產(chǎn)生靜電的最重要場所。通常，靜電會使產(chǎn)品短路，甚至導致員工暈厥。因此，電子行業(yè)無塵車間的相對濕度不應低于30%，這樣可以減少靜電。通常建議無塵車間的防靜電區(qū)域的相對濕度不小于50%。灰塵很容易在太干燥的空氣中飛揚。如果在電子工廠的無塵車間沒有特殊要求，則溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55-60%RH。在這種環(huán)境下，人們感到舒適。靜電也消失了。

　　范例3：

　　SMT車間對溫度和濕度有明確的要求：首先，主要是為了使焊膏在更好的環(huán)境中工作。溫度將影響焊膏的活性，并將對內(nèi)部添加的助焊劑的相關溶劑的活性產(chǎn)生一定的影響。 。高溫會增加其活性，并最終影響絲網(wǎng)印刷和回流的效果。容易出現(xiàn)錯誤的焊接和不光滑的焊點等現(xiàn)象。一定的濕度會導致焊膏吸收空氣中的水分。如果吸收過多的水分，則會在回流，飛散，連續(xù)焊接等過程中產(chǎn)生空氣和空氣。因此，SMT恒溫恒濕車間的溫度和濕度標準為：溫度：24±2℃，濕度：50±10% 。

　　范例4：

　　在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，要求玻璃和作為掩模材料的硅晶片之間的熱膨脹系數(shù)之差越來越小。當溫度升高1度時，直徑為100um的硅晶片將引起0.24um的線性膨脹。因此，它必須具有±0.1度的恒定溫度。同時，通常要求濕度值要低，因為一個人出汗后，產(chǎn)品會被污染，尤其是對于怕鈉的半導體車間，此類車間的溫度不應超過25度。濕度過大會引起更多問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密設備或電路中，會引起各種事故。相對濕度為50%時容易生銹。

　　因此，無塵車間的溫度和濕度控制取決于其生產(chǎn)過程，但其精度也取決于房間的大小，例如測量室，光柵掩模版室，精密儀器制造和裝配車間等。前兩個是小房間，要求較高的空調(diào)精度(這里主要指溫度和濕度);后兩個是較大的生產(chǎn)車間，要求較低的溫度和濕度精度。因此，房間的大小也將決定車間恒溫恒濕的精度。