電子凈化工程對(duì)車(chē)間環(huán)境的特殊要求
電子凈化工程的建設(shè)旨在為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件。生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品的生產(chǎn)密切相關(guān)。合適的生產(chǎn)環(huán)境可以提高產(chǎn)品的性能,產(chǎn)量和可靠性。生產(chǎn)影響更大。
主要環(huán)境要求:
1.空氣清潔度要求
空氣清潔度是空氣清潔度的指標(biāo)。有兩個(gè)主要指標(biāo):空氣中灰塵顆粒的濃度和空氣中灰塵顆粒的粒徑。空氣清潔度是生產(chǎn)電子產(chǎn)品(尤其是微電子產(chǎn)品)的最重要條件之一。如果空氣清潔度不符合標(biāo)準(zhǔn),將直接污染產(chǎn)品或工件,并影響產(chǎn)品的性能,良率,可靠性和使用壽命。空氣的清潔度主要從兩個(gè)方面保證。一方面,建筑物的氣密性,易于清潔和保溫是清潔工廠的基本條件。另一方面,正是在此基礎(chǔ)上,空調(diào)和其他機(jī)電系統(tǒng)共同工作以確保空氣清潔。該學(xué)位符合指定要求。一般而言,各種類(lèi)型的電子工程結(jié)合生產(chǎn)要求和成本等因素,根據(jù)生產(chǎn)過(guò)程設(shè)置不同面積和級(jí)別的凈化車(chē)間。隨著工藝要求的嚴(yán)格,純化水平從外到內(nèi)逐漸提高。
2.空調(diào)恒溫恒濕要求
恒溫恒濕包括對(duì)恒溫恒濕的要求以及允許的變化范圍。室內(nèi)溫度水平和變化幅度對(duì)電子產(chǎn)品的生產(chǎn)和運(yùn)營(yíng)有很大影響。室內(nèi)溫度對(duì)電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)溫度條件的影響影響溫度的過(guò)度變化由于熱膨脹,部件,電路觸點(diǎn),精密設(shè)備和機(jī)械部件的溫度系數(shù)會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致尺寸變化,位置偏移和機(jī)構(gòu)變形,影響產(chǎn)品性能,良率,可靠性和使用壽命。溫度過(guò)高,操作人員容易出汗和污染;影響操作人員的工作心情,影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率;電子元件容易損壞,性能下降;電子設(shè)備(例如電子計(jì)算機(jī))容易出現(xiàn)故障;如果電阻溫度升高,超過(guò)允許極限將燃燒。絕緣材料易于老化,變形和開(kāi)裂,并且絕緣性能降低。溫度太低。溫度系數(shù)的變化會(huì)影響元件的電氣性能和成品率;影響精密電子設(shè)備和儀器穩(wěn)定性,金屬和塑料絕緣會(huì)引起諸如收縮系數(shù)變化引起的接觸不良,密封破裂和焊點(diǎn)失效等問(wèn)題。空氣濕度對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響,
1)影響電子設(shè)備和組件的性能。如果濕度過(guò)高,則電子組件可能會(huì)引起泄漏路徑,泄漏,擊穿和材料老化的變化;附著在工件(如硅片)表面的灰塵很難清除:電氣絕緣材料容易受潮,降低了絕緣性能。如果濕度太低,則很容易使塑料和絕緣材料干縮,變形甚至破裂。
2)濕度高,易于在精密電子和機(jī)械設(shè)備(例如電子計(jì)算機(jī),大功率變送器,高頻感應(yīng)爐等)的內(nèi)部和工作表面產(chǎn)生冷凝水(即冷凝水),這會(huì)影響設(shè)備內(nèi)部組件的性能和操作穩(wěn)定性,甚至?xí)鹦孤┖蛿嗦返葐?wèn)題。
3)濕度超過(guò)某個(gè)臨界值時(shí),會(huì)加速金屬腐蝕。
4)低濕度使其易于產(chǎn)生靜電。一般而言,空氣的相對(duì)濕度不應(yīng)低于40%。
5)濕度會(huì)影響操作員的工作心情,并影響產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
因此,電子工廠,特別是那些生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的工廠,對(duì)室內(nèi)溫度和濕度有不同的要求。為了確保達(dá)到相應(yīng)的恒定溫度和濕度標(biāo)準(zhǔn),建筑物的維護(hù)結(jié)構(gòu)和空調(diào)自動(dòng)控制功能的作用至關(guān)重要。
3.抗微振動(dòng)要求
振動(dòng)對(duì)電子產(chǎn)品尤其是高精度產(chǎn)品的生產(chǎn)有很大影響。甚至每秒幾十微米的振動(dòng)速度也將對(duì)生產(chǎn)造成極大傷害。振動(dòng)對(duì)電子產(chǎn)品的影響主要包括以下幾個(gè)方面:影響加工精度和測(cè)試精度,影響產(chǎn)品良率;影響設(shè)備儀器的正常運(yùn)行和使用壽命;影響設(shè)備零件(或組件)的性能,甚至引起破裂和損壞;導(dǎo)致零件磨損或損壞,影響準(zhǔn)確性和使用壽命;設(shè)備內(nèi)部的零部件容易松動(dòng),影響正常操作。在生產(chǎn)環(huán)境中的振動(dòng),除了外部振動(dòng)源(例如運(yùn)輸工具,機(jī)械設(shè)備,建筑等)和內(nèi)部振動(dòng)源(例如運(yùn)輸工具,機(jī)械設(shè)備,人員步行等)之外,還存在機(jī)械振動(dòng)。工廠本身的組件,這也是不可忽視的振動(dòng)源。因此,電子工程必須充分預(yù)見(jiàn)各種可能的振動(dòng)源并采取必要的防振措施。
4.防靜電要求
靜電對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)的主要危害是:破壞電子元件的生產(chǎn)并影響產(chǎn)品的良率。例如,MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管和MOS集成電路具有非常薄的絕緣氧化物層。只要它們遇到100V的電位差,就會(huì)引起電介質(zhì)擊穿,從而導(dǎo)致器件損壞;在微電子器件的生產(chǎn)過(guò)程中,各種因素產(chǎn)生的靜電電壓常常超過(guò)電子器件對(duì)靜電的敏感度范圍。如果室內(nèi)相對(duì)濕度過(guò)低,可能會(huì)產(chǎn)生一定的靜電電壓,使產(chǎn)品損壞率增加;引起電子設(shè)備故障,損壞設(shè)備內(nèi)部組件;導(dǎo)致設(shè)備故障;由于靜電除塵,影響設(shè)備的通風(fēng)散熱,導(dǎo)致機(jī)械零件的磨損,影響使用壽命;產(chǎn)生觸電現(xiàn)象,危及操作人員的安全,甚至引起燃燒爆炸事故;干擾電子計(jì)算機(jī)和其他設(shè)備的正常運(yùn)行。
因此,在電子工業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中,例如集成電路的生產(chǎn)中,對(duì)靜電防護(hù)有嚴(yán)格的要求,防靜電接地必須安全可靠。對(duì)于具有靜電防護(hù)功能的房間和設(shè)備,應(yīng)注意導(dǎo)電的金屬外殼,應(yīng)將等金屬的管道,裸露的金屬結(jié)構(gòu)等電位連接,并且不應(yīng)將絕緣的導(dǎo)體接地。靜電接地線應(yīng)確保可靠連接,并應(yīng)采用焊接或壓接方式。使用導(dǎo)電膠粘接接地線時(shí),接觸面積不應(yīng)小于20cm2;運(yùn)輸超純氫氣,天然氣等易燃介質(zhì)的管道必須采取防靜電接地措施。露天排氣管應(yīng)配備阻火器,周?chē)ㄖ飸?yīng)綜合考慮防雷措施。
5.電磁環(huán)境和電磁屏蔽要求
在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)中,電磁環(huán)境和電磁屏蔽技術(shù)是電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的重要手段和措施,也是影響產(chǎn)品生產(chǎn)的重要環(huán)境因素。合格的電磁屏蔽環(huán)境需要多個(gè)專(zhuān)業(yè)人員的密切配合,包括:屏蔽殼(墻板)的安裝(焊接),濾波器的安裝以及波導(dǎo)通風(fēng)窗的安裝等應(yīng)在以下環(huán)境中進(jìn)行:嚴(yán)格按照電磁屏蔽室工程建設(shè)的規(guī)定和驗(yàn)收規(guī)范;電磁屏蔽室濾波器(包括電源濾波器和信號(hào)濾波器),其衰減參數(shù)應(yīng)與電磁屏蔽室的屏蔽性能一致。在安裝過(guò)濾器之前,必須清除屏蔽室和過(guò)濾器接觸面上的油漆,并應(yīng)在接觸面上放置導(dǎo)電墊片并用螺栓固定,以確保良好的電氣接觸;屏蔽室應(yīng)在安裝屏蔽罩之后和裝飾屏蔽室之前安裝過(guò)濾器。進(jìn)入和離開(kāi)屏蔽室的電纜通常應(yīng)穿過(guò)濾波器,而那些不適合濾波器的電纜應(yīng)連接到信號(hào)傳輸接口板上。信號(hào)傳輸接口板的安裝應(yīng)按照“電磁屏蔽室的建造和驗(yàn)收規(guī)定”(SJ 31470)進(jìn)行;安裝過(guò)濾器后,應(yīng)使用電磁屏??蔽檢漏儀進(jìn)行100%檢漏。過(guò)濾器的屏蔽效能測(cè)試應(yīng)由國(guó)家專(zhuān)門(mén)機(jī)構(gòu)組織實(shí)施,測(cè)試方法和要求應(yīng)符合《高效電磁屏蔽室屏蔽效能測(cè)試方法》(GB 12190)的要求。檢測(cè)指標(biāo)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求;屏蔽殼通過(guò)檢查后,應(yīng)進(jìn)行電磁屏蔽室內(nèi)的電氣布線,綜合布線,監(jiān)視和安全保護(hù)系統(tǒng)以及消防監(jiān)視系統(tǒng)。在施工和安裝過(guò)程中嚴(yán)禁使用屏蔽層。